半導(dǎo)體激光器是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的激光器,由于物質(zhì)結(jié)構(gòu)上的差異,不同種類產(chǎn)生激光的具體過(guò)程比較特殊。常用工作物質(zhì)有砷化鎵(GaAs)、硫化鎘(CdS)、磷化銦(InP)、硫化鋅(ZnS)等。
半導(dǎo)體激光器根據(jù)固體的能帶理論,半導(dǎo)體材料中電子的能級(jí)形成能帶。高能量的為導(dǎo)帶,低能量的為價(jià)帶,兩帶被禁帶分開(kāi)。引入半導(dǎo)體的非平衡電子-空穴對(duì)復(fù)合時(shí),把釋放的能量以發(fā)光形式輻射出去,這就是載流子的復(fù)合發(fā)光。
一般所用的半導(dǎo)體材料有兩大類,直接帶隙材料和間接帶隙材料,其中直接帶隙半導(dǎo)體材料如GaAs(砷化鎵)比間接帶隙半導(dǎo)體材料如Si有高得多的輻射躍遷幾率,發(fā)光效率也高得多。
半導(dǎo)體復(fù)合發(fā)光達(dá)到受激發(fā)射(即產(chǎn)生激光)的必要條件是:
?、倭W訑?shù)反轉(zhuǎn)分布分別從P型側(cè)和n型側(cè)注入到有源區(qū)的載流子密度十分高時(shí),占據(jù)導(dǎo)帶電子態(tài)的電子數(shù)超過(guò)占據(jù)價(jià)帶電子態(tài)的電子數(shù),就形成了粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布。
?、诠獾闹C振腔在半導(dǎo)體激光器中,諧振腔由其兩端的鏡面組成,稱為法布里-珀羅腔。
③高增益用以補(bǔ)償光損耗。諧振腔的光損耗主要是從反射面向外發(fā)射的損耗和介質(zhì)的光吸收
半導(dǎo)體激光器是依靠注入載流子工作的,發(fā)射激光必須具備三個(gè)基本條件:
①要產(chǎn)生足夠的粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布,即高能態(tài)粒子數(shù)足夠的大于處于低能態(tài)的粒子數(shù);
②有一個(gè)合適的諧振腔能夠起到反饋?zhàn)饔?,使受激輻射光子增生,從而產(chǎn)生激光震蕩;
?、垡獫M足一定的閥值條件,以使光子增益等于或大于光子的損耗。
半導(dǎo)體激光器工作原理是激勵(lì)方式,利用半導(dǎo)體物質(zhì)(即利用電子)在能帶間躍遷發(fā)光,用半導(dǎo)體晶體的解理面形成兩個(gè)平行反射鏡面作為反射鏡,組成諧振腔,使光振蕩、反饋,產(chǎn)生光的輻射放大,輸出激光。
1、閾值電流:
當(dāng)注入p-n結(jié)的電流較低時(shí),只有自發(fā)輻射產(chǎn)生,隨電流值的增大增益也增大,達(dá)閾值電流時(shí),p-n結(jié)產(chǎn)生激光。影響閾值的幾個(gè)因素:
?、倬w的摻雜濃度越大,閾值越小。
?、谥C振腔的損耗小,如增大反射率,閾值就低。
?、叟c半導(dǎo)體材料結(jié)型有關(guān),異質(zhì)結(jié)閾值電流比同質(zhì)結(jié)低得多。目前,室溫下同質(zhì)結(jié)的閾值電流大于30000A/cm2;單異質(zhì)結(jié)約為8000A/cm2;雙異質(zhì)結(jié)約為1600A/cm2?,F(xiàn)在已用雙異質(zhì)結(jié)制成在室溫下能連續(xù)輸出幾十毫瓦的半導(dǎo)體激光器。
?、軠囟扔?,閾值越高。100K以上,閾值隨T的三次方增加。因此,半導(dǎo)體激光器Z好在低溫和室溫下工作。
2、方向性:
由于半導(dǎo)體激光器的諧振腔短小,激光方向性較差,在結(jié)的垂直平面內(nèi),發(fā)散角Zda,可達(dá)20°-30°;在結(jié)的水平面內(nèi)約為10°左右。
3、效率:
量子效率:η=每秒發(fā)射的光子數(shù)/每秒到達(dá)結(jié)區(qū)的電子空穴對(duì)數(shù);77K時(shí),半導(dǎo)體激光器量子效率達(dá)70%-80%;300K時(shí),降到30%左右。
功率效率η1=輻射的光功率/加在激光器上的電功率;由于各種損耗,目前的雙異質(zhì)結(jié)器件,室溫時(shí)的η1Zgao10%,只有在低溫下才能達(dá)到30%-40%。
4、光譜特性:
由于半導(dǎo)體材料的特殊電子結(jié)構(gòu),受激復(fù)合輻射發(fā)生在能帶(導(dǎo)帶與價(jià)帶)之間,所以激光線寬較寬,半導(dǎo)體激光器,室溫下譜線寬度約為幾納米,可見(jiàn)其單色性較差。
工作原理上,半導(dǎo)體激光器和其他激光器并無(wú)區(qū)別,而要實(shí)現(xiàn)實(shí)際輻射光放大,則需滿足粒子數(shù)反轉(zhuǎn)和原子分子閾值條件,即高能帶的粒子數(shù)多于低能帶,同時(shí)反轉(zhuǎn)數(shù)產(chǎn)生的增益又大于損耗。因此半導(dǎo)體激光器和其他激光器的區(qū)別主要反映在能級(jí)上,例如氣體固體激光器是依賴于其分離能級(jí)間的躍遷。而半導(dǎo)體激光器依賴于一種晶體結(jié)構(gòu)構(gòu)造的能帶間躍遷,即導(dǎo)帶和價(jià)帶的躍遷。
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