成分復(fù)雜的光被光分解為光譜線的科學(xué)儀器，叫做光柵光譜儀。利用光譜儀抓取光信息，通過(guò)照相底片顯影，或者通過(guò)電腦化自動(dòng)顯示數(shù)值儀器顯示和分析，從而使得物品中含有何種元素被測(cè)知。光柵光譜儀在顏色測(cè)量、化學(xué)成份的濃度測(cè)量或輻射度學(xué)分析、膜厚測(cè)量、氣體成分分析等領(lǐng)域中得到非常廣泛地應(yīng)用。下面就讓小編帶你了解一下光柵光譜儀的重要參數(shù)

重要參數(shù)

波長(zhǎng)精度

光譜儀確定波長(zhǎng)的刻度等級(jí)，為波長(zhǎng)精度，nm為單位。一般，隨著波長(zhǎng)變化，波長(zhǎng)精度也會(huì)發(fā)生變化。

波長(zhǎng)重復(fù)性

光譜儀返回原波長(zhǎng)的能力，即是波長(zhǎng)重復(fù)性。波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)機(jī)械和整個(gè)儀器的穩(wěn)定性由此得以體現(xiàn)。

波長(zhǎng)準(zhǔn)確度

光譜儀設(shè)定波長(zhǎng)與實(shí)際波長(zhǎng)的差值為波長(zhǎng)準(zhǔn)確度。

F/#

光譜儀焦距與準(zhǔn)直凹面反射鏡的直徑的比值為F/#的定義。光通過(guò)效率與F/#的平方成反比，F(xiàn)/#越小，光通過(guò)率越高。

分辨率

分開兩條臨近譜線能力的度量，即是光柵單色儀的分辨率R，按照羅蘭判據(jù)為：

R=λ/Δλ

對(duì)單個(gè)譜線的半高寬(FWHM)進(jìn)行測(cè)量為光柵光譜儀中有實(shí)際意義的定義。事實(shí)上，分辨率對(duì)系統(tǒng)的光學(xué)像差、設(shè)定的狹縫寬度、系統(tǒng)的有效焦長(zhǎng)以及光柵的分辨本領(lǐng)有所依賴

R∝ M·F/W

W-狹縫寬度

F-譜儀焦距

M-光柵線數(shù)

色散

光柵光譜儀的分開波長(zhǎng)的能力由其的色散所決定。光譜儀的倒線色散能夠計(jì)算得到：波長(zhǎng)λ的變化由沿單色儀的焦平面改變距離χ引起：也就是：

Δλ/Δχ=dcosβ/mF

此處m為衍射級(jí)次，F(xiàn)為系統(tǒng)的有效焦距，β為衍射角的有效焦距，d為光柵刻槽的間距。通過(guò)方程能夠知曉：倒線色散不是常數(shù)，隨著波長(zhǎng)變化，倒線色散會(huì)發(fā)生改變。在所用波長(zhǎng)范圍內(nèi)，變化可能比兩倍還要多。按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，在本樣本中，用1200l/mm光柵色散的中間值（典型的為435.8nm）時(shí)的倒線色散。

帶寬

帶寬是對(duì)略光學(xué)像差、衍射、掃描方法、探測(cè)器像素寬度、狹縫高度和照明均勻性等加以忽略，在給定波長(zhǎng)，從光譜儀輸出的波長(zhǎng)寬度。其為狹縫寬度與倒線色散的乘積。