掃描電子顯微鏡是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門(mén)。

掃描電子顯微鏡操作規(guī)程

　　1、打開(kāi)墻上配電箱里的空氣開(kāi)關(guān)。

　　2、打開(kāi)變壓器電源。

　　3、打開(kāi)主機(jī)電源：鑰匙擰到START位置，停兩秒松手，鑰匙回到I位置。

　　4、打開(kāi)電腦電源。

　　5、點(diǎn)擊桌面圖標(biāo)，等待。

　　6、當(dāng)HT圖標(biāo)顯示藍(lán)色后，點(diǎn)VENT排氣(排氣時(shí)vent閃，排完氣vent不閃)，排完氣方可打開(kāi)樣品室。

　　7、正確選擇Z軸高度(需要估計(jì)樣品高度，Z軸大于樣品高度放入樣品，關(guān)閉樣品臺(tái)，點(diǎn)擊EVAC抽氣，抽氣時(shí)推著樣品室門(mén)，聽(tīng)到機(jī)械泵響聲后松手。

　　8、打開(kāi)HT圖標(biāo)(此圖標(biāo)在非真空下是灰色，真空位藍(lán)色，打開(kāi)燈絲拍照為綠色)。

　　9、掃描電子顯微鏡選擇掃描模式、加速電壓(0.5-30KV之間選擇，一般微生物類樣品選10左右)、WD工作距離(10-15之間選擇)、SS電子束斑(一般選30-40)。

　　10、在SCAN2下調(diào)焦、調(diào)整對(duì)比度及亮度、調(diào)消象散(放大時(shí)照片晃動(dòng)、或者樣品變形、或者整體移動(dòng)可點(diǎn)WOBBLE(一般10000倍左右調(diào)節(jié)有效果)調(diào)節(jié)光纜使照片不晃動(dòng))。

　　11、高倍下調(diào)清晰度，低倍下拍照，拍照選擇photo(曝光40秒)或者SCAN4(曝光80秒)，拍完選擇FREEZE并保存照片。

　　12、拍完照后關(guān)閉燈絲，點(diǎn)VENT排氣(排氣時(shí)vent閃，排完氣vent不閃)，排完氣方可打開(kāi)樣品室，取出樣品臺(tái);關(guān)閉樣品臺(tái)，點(diǎn)擊EVAC抽氣，抽氣時(shí)推著樣品室門(mén)，聽(tīng)到機(jī)械泵響聲后松手。

　　13、依次關(guān)閉軟件、電腦、主機(jī)電源、變壓器、空開(kāi)。

掃描電子顯微鏡注意事項(xiàng)

　　1、注意Z軸的距離要足夠高不要讓樣品碰到探頭。

　　2、慢慢調(diào)節(jié)光纜，防止調(diào)節(jié)過(guò)快看不到被觀察物。

　　3、取、放前一定要卸真空，再抽真空。

　　4、掃描電子顯微鏡關(guān)機(jī)的時(shí)候，要在真空狀態(tài)下關(guān)機(jī)。

　　5、拍完照后要及時(shí)關(guān)閉燈絲。

　　6、請(qǐng)不要使用UBS接口，要拷貝數(shù)據(jù)請(qǐng)使用一次性光盤(pán)，光盤(pán)插入直接復(fù)制數(shù)據(jù)即可。

　　7、實(shí)驗(yàn)前后都要填寫(xiě)掃描電子顯微鏡使用登記表，實(shí)驗(yàn)完成后填寫(xiě)儀器使用記錄。

　　8、正確操作掃描電子顯微鏡，使用過(guò)程中如發(fā)現(xiàn)儀器出現(xiàn)異常情況，應(yīng)及時(shí)與實(shí)驗(yàn)室管理人員聯(lián)系。

　　9、要求用托盤(pán)盛放藥品，避免藥品直接放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，實(shí)驗(yàn)結(jié)束及時(shí)清潔實(shí)驗(yàn)臺(tái)，帶走所有實(shí)驗(yàn)試劑及樣品。

掃描電子顯微鏡維護(hù)保養(yǎng)

　　掃描電子顯微鏡雖然故障率較高，但大部分故障都發(fā)生在電路、真空和鏡筒部分。關(guān)鍵是首先要搞清楚掃描電子顯微鏡的工作原理，出現(xiàn)故障要善于分析，找到關(guān)鍵癥結(jié)所在。在平時(shí)的工作中要善于總結(jié)思考，摸清規(guī)律，并要注意平時(shí)的維護(hù)，這樣才能降低設(shè)備故障率。

　　一、真空系統(tǒng)

　　掃描電子顯微鏡不工作時(shí)，應(yīng)使鏡筒(包括譜儀)內(nèi)保持一定的真空度。以2-3天抽一次真空(低真空也可以)為宜。如果發(fā)現(xiàn)抽不到應(yīng)達(dá)到的高真空，則需要及時(shí)進(jìn)行仔細(xì)檢查，一般先檢查運(yùn)動(dòng)的部位。

　　1、機(jī)械泵

　　平時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查油量，始終保持在油水平線上。注意皮帶運(yùn)轉(zhuǎn)正常。定期(一年左右)換新油。

　　2、擴(kuò)散泵

　　如果擴(kuò)散泵太臟或者油變質(zhì)，一般是低真空抽得上，高真空達(dá)不到應(yīng)達(dá)真空度，這時(shí)必須清洗和換油。拆下蝶閥以下各部分，倒出被氧化或劣化了的油。換油前用汽油或四氯化碳清洗蝶閥、擴(kuò)散泵各零件，然后用酒精脫水，熱風(fēng)吹干。裝入新的擴(kuò)散泵油100毫升，注意油量，太多或者太少都會(huì)影響抽氣速率。

　　二、鏡筒部分的維護(hù)

　　1、當(dāng)改變燈絲旋鈕時(shí)，束流指示表上讀書(shū)不變，一般都是由于燈絲斷了，必須進(jìn)行更換。更換時(shí)用干凈的綢布沾酒精洗擦電子槍內(nèi)部周?chē)?，Z好用電吹風(fēng)吹干。

　　2、如果有合軸困難、光束移動(dòng)、亮度降低、畸變等現(xiàn)象，就要清洗固定光欄;如果像散增加，像有方向性變化，且難于校正，那就要清洗物鏡活動(dòng)光欄。

　　3、將光欄放在酒精燈火焰中燒，一直燒到暗紅色，然后用石油醚、四氯化碳清洗干凈。Z好再將光欄用超聲波清洗。

　　4、閃爍體在具有一定能量的電子轟擊下將逐漸老化，從而使靈敏度降低，噪聲提高，必要時(shí)進(jìn)行更換。更換時(shí)必須注意加速環(huán)與鋁膜導(dǎo)電良好;收集極等要光滑，沒(méi)有尖銳突出毛刺;光耦合良好。在閃爍體-光導(dǎo)管-倍增管的界面上可適當(dāng)涂以硅油。