輝光放電光譜技術(shù)是一種分析技術(shù)，其能夠直接對固體樣品進行分析。材料的基板分析為其Z早的應用領(lǐng)域。這些年以來，輝光深度剖面分析技術(shù)在材料表面分析領(lǐng)域得到了廣泛地應用，人們對此技術(shù)也越來越看重。相比于俄歇(AES)、二次離子質(zhì)譜(SIMS)等其他的表面分析儀器，盡管原子水平的表層分析不能進行，然而其在表層和深度部面分析方面具有非常顯著的優(yōu)勢，其又較為便宜的價格，能夠非常迅速地分析和十分方便地定量。在國外的工廠、實驗室及研究ZX得到了非常廣泛的應用。新材料的研究開發(fā)和產(chǎn)品的質(zhì)量控制為該技術(shù)的主要用途。

輝光放電光譜儀的特征

相比于其它光譜類儀器來說，輝光放電光譜儀具有的優(yōu)勢特征非常的多。

1、有著較低的檢出限。

2、能夠逐層檢測樣品表面。

3、十幾個元素的含量通過一次檢測就能夠得到，能夠給出較大信息量。

4、只需幾分鐘就能夠做一個樣品，有著非常快的檢測速度。

5、不需要對樣品進行稀釋,溶解等處理，能夠直接對固體樣品進行檢測。

6、有非常廣泛的檢測濃度范圍。

輝光放電光譜儀的應用

輝光放電光譜儀汽車領(lǐng)域的應用

分析汽車車身漆膜

輝光放電光譜儀在陶瓷、玻璃及在半導體領(lǐng)域中的應用

輝光放電光譜儀在冶金領(lǐng)域中的應用：

鋼的熱處理、表面硬化、擴散的研究，分析鋼鐵或有色金屬及其合金成分，快速檢測出材料缺陷。

輝光放電光譜儀在材料保護領(lǐng)域的應用：

分析和研究有機涂層，分析和研究PVD和CVD的，分析和研究應用鍍層。

能夠用來定量分析、半定量分析和定性分析固體樣品，尤其是定量分析金屬樣品。因為輝光放電光譜儀采用RF作為光源,所以能夠檢測非導電樣品。表面逐層分析為輝光放電光譜儀的第二個用途。此對于分析和研究表面處理層的意義非常的特別。