等離子體（Plasma）在近代物理學(xué)中是一個(gè)很普通的概念，是一種在一定程度上被電離（電離度大于0.1%）的氣體，其中電子和陽(yáng)離子的濃度處于平衡狀態(tài)，宏觀上呈電中性的物質(zhì)。電感耦合等離子發(fā)射光譜儀，是指以電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測(cè)元素原子回到基態(tài)時(shí)發(fā)射的特征譜線對(duì)待測(cè)元素進(jìn)行分析的儀器。待測(cè)元素原子的能級(jí)結(jié)構(gòu)不同，因此發(fā)射譜線的特征不同，據(jù)此可對(duì)樣品進(jìn)行定性分析；而待測(cè)元素原子的濃度不同，因此發(fā)射強(qiáng)度不同，可實(shí)現(xiàn)元素的定量測(cè)定。

研究進(jìn)展

在20世紀(jì)60年代出現(xiàn)了ICP-AES法。在20世紀(jì)60年代初，等離子炬管裝置被Reed設(shè)計(jì)了出來(lái)，其的結(jié)構(gòu)為三層同心石英管，將冷卻氣由切線方向通入，使在大氣壓下和火焰形狀類似的高頻無(wú)極放電裝置獲得。

在此以后，di一電感耦合等離子體（ICP）在原子光譜分析上的應(yīng)用報(bào)告被Greefield和Wendt等發(fā)表。因?yàn)殡姼旭詈系入x子體光譜的性能相當(dāng)?shù)膬?yōu)越以及出現(xiàn)了商品儀器，其發(fā)展越來(lái)越快。

1975年，ICP被國(guó)際純粹和應(yīng)用化學(xué)聯(lián)合會(huì)（IUPAC）推薦作為電感耦合等離子體專用術(shù)語(yǔ)之后，儀器裝置以及ICP-AES分析技術(shù)等發(fā)展越來(lái)越全面，和以中階梯光柵雙色散系統(tǒng)與面陣式固體檢測(cè)器相結(jié)合的“全譜型”以高刻線衍射光柵色散系統(tǒng)的同時(shí)型、順序型等ICP-AES儀器出現(xiàn)了，從而將原子發(fā)射光譜分析儀器的發(fā)展推向了一個(gè)全新的時(shí)期。ICP-AES分析技術(shù)作為元素的分析方法，變得越來(lái)越有效，與此同時(shí)，ICP-AES儀器也處于不斷改進(jìn)并逐步向高端階段發(fā)展。