氦質(zhì)譜檢漏儀是檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種儀器，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀開(kāi)機(jī)步驟

　　1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開(kāi)抽速閥，開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。

　　2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。

　　3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。

　　4、開(kāi)抽速閥，過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10^-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開(kāi))，當(dāng)真空示值超過(guò)1×10^-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。

　　5、將工件用外接泵抽上真空后，開(kāi)節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10^-3~1×10^-2Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。

氦質(zhì)譜檢漏儀關(guān)機(jī)步驟

　　1、關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥。

　　2、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”。

　　3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵已冷，將總電源轉(zhuǎn)到“關(guān)”。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)

　　1、工件要保持清潔、干燥。

　　2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①?gòu)纳贤?。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。

　　3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴槍口是否有氦氣噴出。

　　4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。

　　5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。

　　6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。

　　7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。

　　8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法

　　1、盡量開(kāi)大節(jié)流閥。

　　2、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門(mén))。

　　3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn))。

　　4、使用液氮，全開(kāi)節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用液氮步驟

　　1、加液氮：在冷規(guī)指針過(guò)1×10^-2Pa以后，加入液氮。

　　2、停機(jī)前必須將殘余液氮排除后，才能關(guān)機(jī)：關(guān)機(jī)前先關(guān)“冷規(guī)”，關(guān)抽速閥，將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，將冷阱內(nèi)殘余液氮排出，再加入熱水，等20分鐘左右，擴(kuò)散泵已冷，將總電源轉(zhuǎn)到“關(guān)”。

　　3、加液氮時(shí)應(yīng)注意防護(hù)，防止凍傷，加液氮每次不一定加滿，使用中如不夠，可再加。

　　4、第二天(或定期)將液氮冷阱取下，清洗冷阱內(nèi)、外筒，再用吹風(fēng)吹干，安裝好后按正常程序開(kāi)機(jī)。

氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟

　　調(diào)氦峰在更換燈絲后及每天開(kāi)始檢漏前檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度達(dá)不到要求時(shí)進(jìn)行。

　　1、調(diào)氦峰方法：

　　開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值，然后關(guān)漏孔開(kāi)關(guān)，如表頭指示值變小，說(shuō)明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào)，即找到氦峰;如表頭指示值不變，說(shuō)明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。

　　2、調(diào)氦峰分辨不好：

　?、俸ず椭仉x子分辨差。

　　②氦和輕離子分辨差。

　　3、調(diào)氦峰信號(hào)?。?/strong>

　　①燈絲沒(méi)正對(duì)電離盒上的電子入口。

　?、跓艚z離電離盒太遠(yuǎn)。

　?、鄯直娌缓?。

　?、軣艚z質(zhì)量差(受油蒸汽污染或本身發(fā)射能力低)。

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟

　　當(dāng)冷規(guī)指針已過(guò)1×10^-2Pa，按燈絲啟動(dòng)，燈很亮，發(fā)射電流無(wú)指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個(gè)月。

　　1、停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開(kāi)機(jī)步驟進(jìn)行。

　　2、不停機(jī)換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開(kāi)關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開(kāi)關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過(guò)五分鐘)，全開(kāi)節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開(kāi)抽速閥，開(kāi)冷規(guī)，等真空過(guò)1×10^-2Pa后可啟動(dòng)燈絲，調(diào)氦峰。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。

氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)

　　1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。

　　2、定期更換機(jī)械泵油，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。

　　3、如加液氮，需定期清洗冷阱。

　　4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。

　　5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。