X射線定向儀是對單晶體的各晶面在空間相互排列角度進(jìn)行精密測定的一種光學(xué)檢測儀器。

Ⅹ射線定向儀穩(wěn)定度的測定意義

Ⅹ射線定向儀用于如SO2、Si、Ge等單晶體加工生產(chǎn)線上,每次連續(xù)使用的時間在4-8h之間，所以對于X射線定向儀連續(xù)工作的穩(wěn)定度來說有著非常高的要求，被測晶面角偏差會直接受到它的波動的影響，其與晶體器件的放大倍數(shù)和振蕩率等重要指標(biāo)有著較為直接的關(guān)系，因此對于我國的電子事業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要。

Ⅹ射線定向儀穩(wěn)定度的測定方法

1、調(diào)整Ⅹ射線定向儀到正常工作狀態(tài)，將4′的狹縫裝上（雙晶體定向儀不需要加狹縫）。在樣品架上安裝二氧化硅標(biāo)準(zhǔn)晶體，將管電流1毫安，管電壓20千伏的Ⅹ射線輻射條件選定。對樣品架轉(zhuǎn)角進(jìn)行調(diào)整，使微安表指示值zui大，之后對計數(shù)率儀進(jìn)行調(diào)整，使得微安表指示值不比滿刻度的95%小，起始值是滿刻度的10%。設(shè)置角等于13°20′（銅靶X射線管，二氧化硅晶面的衍射角）。

2、shou次將微安表指示數(shù)值記錄下，之后每6min對微安表的指示數(shù)值進(jìn)行記錄，持續(xù)進(jìn)行8個小時的測定。

技術(shù)指標(biāo)

1、樣品旋轉(zhuǎn)角度：-10 - +50度

2、計數(shù)管：蓋革計數(shù)管,工作電壓500-1100伏特

3、時間常數(shù)：分0.1,0.4,3秒三檔

4、保護(hù)：高壓連鎖保護(hù),溫度保護(hù)

5、狹縫：4′,5′,6′

6、外形尺寸：1140毫米×650毫米×1030毫米

7、重 量：300千克　

8、射線管：銅靶,陽極接地,強(qiáng)迫風(fēng)冷

9、管電壓：30千伏峰值,全壓合閘

10、管電流：0-5毫安,連續(xù)可調(diào)

11、整機(jī)耗電：不超過0.3千瓦

12、靈敏度：比±30″更靈敏

13、角度顯示：通過度,分,秒來顯示,10″為zui小讀數(shù)

14、計數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度：-10 - +100度